[实用新型]一种挡板调节装置和包含其的镀膜设备有效
| 申请号： | 202222575743.4 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN219010438U | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 魏国军;肖畅;李景薇 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 黄利萍 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种挡板调节装置，设置在镀膜设备中，所述镀膜设备包括间隔设置的两个溅射源和基片，所述装置包括两个挡板调节结构，所述两个挡板调节结构分别设置在两个溅射源的两侧，每个挡板调节结构包括沿第一方向并排设置的N个挡板调节组件，每个挡板调节组件包括驱动部和与所述驱动部连接的挡片，所述驱动部用于控制对应的挡片在第二方向运动以使得所述挡片位于基片和溅射源之间，所述第一方向为竖直方向，第二方向垂直于第一方向。本实用新型能够简单方便的实现镀膜均匀性的精准调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 挡板 调节 装置 包含 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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