[实用新型]掺杂工艺演示装置有效
| 申请号： | 202222604260.2 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN219162833U | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 夏静;朱善岳;梅良中;科迪·瞿;李建军;陈俊健;李先波 | 申请（专利权）人： | 浙江三和科教仪器有限公司 |
| 主分类号： | G09B5/02 | 分类号： | G09B5/02;G09B25/00 |
| 代理公司： | 温州瓯越专利代理有限公司 33211 | 代理人： | 李祎帆 |
| 地址： | 325100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掺杂工艺演示装置，包括有设置在上方的离子发生器模型、设置在下方的离子加速管模型、连接于离子发生器模型一侧和离子加速管模型上端之间的磁分析器模型、连接于离子加速管模型下端的基片承载台模型，所述磁分析器模型包括有设置在前侧的显示屏，所述显示屏用于播放离子束的运行轨迹的动态视频，所述动态视频用于模拟离子束被筛选的过程。本实用新型构造简单，能够用于芯片制作工艺中掺杂步骤的教学演示用途，具有较好的教学效果。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 工艺 演示 装置 | ||
【主权项】：
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