[实用新型]一种硅外延设备的石英安装总成有效
| 申请号： | 202222621069.9 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN218436026U | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 冯聚坤;贾军朋 | 申请（专利权）人： | 河北普兴电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 袁圣菲 |
| 地址： | 050200 河北省石*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅外延设备的石英安装总成，属于石英加工设备技术领域，包括基座环金属法兰以及上法兰，基座环金属法兰的内孔具有适于承托石英的承托台，上法兰的内孔具有凸台；承托台和凸台上均设有适于与石英接触的密封圈；石英安装总成还包括定位环和定位结构；定位环适于设在基座环金属法兰的内孔中；定位环上具有适于搭接在基座环金属法兰顶部的提拉部；定位结构的两端分别适于与基座环金属法兰和上法兰连接，以定位基座环金属法兰和上法兰之间的位置；通过定位环能够定位石英在基座环金属法兰上的安装位置，减少出现石英部分外周壁与基座环金属法兰内孔周壁接触的情况；能够减少出现石英因热应力不均而出现损坏的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 外延 设备 石英 安装 总成 | ||
【主权项】：
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