[实用新型]一种化学气相沉积用气体分布装置

摘要

本实用新型涉及气体分布技术领域，具体为一种化学气相沉积用气体分布装置，包括分布装置主体，所述气体分布装置主体包括设备外壳，所述设备外壳的顶端外表面连接有泄压组件，所述设备外壳的内部连接有分布组件主体，所述设备外壳的内部连接有封盖，且封盖的内部连接有扶持组件，所述设备外壳的内壁连接有出气槽；所述扶持组件包括第一抵板、缓冲气囊、第一支撑杆、第一卡杆、出气槽。该化学气相沉积用气体分布装置，通过设置扶持组件，可有效方便沉积盘进行固定，减少气流冲击沉积盘时所产生的晃动，且该装置通过设置泄压组件，可有效通过气体冲击第一撑杆，使部分高压气体从设备外壳的内部排出，以增加泄压效果。