[实用新型]一种晶圆片气流干燥箱

摘要

本实用新型公开一种晶圆片气流干燥箱，属于晶圆片干燥技术领域，其包括箱体，箱体的顶端固定连接有加热箱，加热箱的内部固定连接有加热杆，加热箱的顶端接通有连接管，连接管的顶端接通有排气管，排气管的顶端设置有送风箱，送风箱的内部固定安装有抽气泵，抽气泵的底端与排气管相接通，抽气泵的顶端接通有进气管，且进气管贯穿送风箱设置，加热箱的底端接通有转接管，转接管贯穿加热箱并延伸至箱体的内部顶端；本实用新型利用设置的箱体内部的置物板来进行对晶圆片的放置，之后利用设置在送风箱内部的抽气泵来通过进气管将外界的空气抽取，同时抽取的空气通过排气管以及连接管排进加热箱内部，利用加热杆的加热，尽可能的将空气中的湿气蒸发。