[实用新型]一种用于NEG膜的抽真空检测装置有效
| 申请号： | 202222817775.0 | 申请日： | 2022-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN218546438U | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 刘敏;刘丹;温俊 | 申请（专利权）人： | 武汉固瑞得科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/04 | 分类号： | G01N7/04 |
| 代理公司： | 武汉红观专利代理事务所(普通合伙) 42247 | 代理人： | 黄鑫 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东西湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种用于NEG膜的抽真空检测装置，包括设备主体、第一罐体、第二罐体、储气罐、真空计、第一控制阀及微调阀，设备主体内设置有检测腔室，检测腔室内设置有NEG膜，检测腔室能够被外部设备抽真空，第一罐体与检测腔室及第二罐体相连通，第二罐体与储气罐相连通，第二罐体的容积大于第一罐体，储气罐内储存惰性气体，真空计用于检测第一罐体与第二罐体内的真空度，微调阀用于控制第一罐体向检测腔室内输送的气体量；先将惰性气体输入容积较大的第二罐体，然后在将第二罐体内的气体输入容积较小的第一罐体，最后通过微调阀将第一罐体内的气体输入检测罐，能够通过检测两个罐体内的真空度变化来精准的控制气体的输送量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 neg 真空 检测 装置 | ||
【主权项】：
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