[实用新型]一种甩干装置

摘要

本实用新型提供一种甩干装置，包括盒体及设于盒体内的转动机构，盒体的一面内凹形成甩干腔，甩干腔内设有与转动机构驱动连接的甩干桶，甩干桶内设有用于承载晶舟的承载机构，盒体连接有用于盖合甩干腔的盖板，盖板背向盒体的一面设置第一过滤机构，盖板上开设进气孔，第一过滤机构通过进气孔连通甩干腔，第一过滤机构一侧壁连通有用于向甩干腔内送入氮气的进气管，第一过滤机构用于过滤氮气内的颗粒物。在转动机构驱动甩干桶对其内的晶圆进行离心甩干的同时，通过进气管向甩干腔内通入氮气，以气体的流动性及对液体的浓缩作用，配合离心力带走晶圆上的残留水渍，在保障晶圆于离心状态的稳定性的情况下，确保晶圆得到有效的干燥。