[实用新型]一种电刷镀装置有效
| 申请号： | 202222863235.6 | 申请日： | 2022-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN218262809U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 吴万里;冯留建;周克虎;刘浩;陈肖华 | 申请（专利权）人： | 新特能源股份有限公司;新疆新特晶体硅高科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/10 | 分类号： | C25D17/10;C25D5/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 831500 新疆维吾尔自治区乌鲁木*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种电刷镀装置，涉及多晶硅制备技术领域。该电刷镀装置包括：安装支架，用于固定安装待镀工件，所述安装支架与所述待镀工件之间形成有一容置空间；驱动机构，设置于所述容置空间内；刷镀组件，与所述驱动机构固定连接，所述刷镀组件用于对所述待镀工件的内壁进行刷镀；其中，所述驱动机构驱动所述刷镀组件进行轴向运动和/或圆周运动。本实用新型的方案，解决了现有的电刷镀装置难以适用于多晶硅还原炉的内壁修复及涂层制备的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电刷 装置 | ||
【主权项】：
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