[实用新型]电镀液自动管控装置有效
| 申请号： | 202223133077.5 | 申请日： | 2022-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN218974383U | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 秦芹;许艳林 | 申请（专利权）人： | 江苏芯德半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N35/00 | 分类号： | G01N35/00 |
| 代理公司： | 无锡华越知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32571 | 代理人： | 王少卿 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种电镀液自动管控装置，包括：电镀液槽、循环泵组件、滤芯罐组件、自动分析组件和补液组件，电镀液槽连接循环泵组件，循环泵组件连接滤芯罐组件，接滤芯罐组件连接自动分析组件和电镀液槽，补液组件连接电镀液槽，自动分析组件和补液组件至少连接一组电镀液槽、循环泵组件和滤芯罐组件，本实用新型提供了一种自动取样、自动检测、自动添加、自动上传数据的电镀液自动管控装置。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 自动 装置 | ||
【主权项】：
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