[实用新型]基于MEMS技术的真空传感器有效
| 申请号： | 202223259940.1 | 申请日： | 2022-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN218584258U | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 林钟伟;刘伟;李卢;谢立坚;成启通 | 申请（专利权）人： | 博思发科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/00 | 分类号： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 深圳华屹智林知识产权代理事务所(普通合伙) 44785 | 代理人： | 陈建 |
| 地址： | 518049 广东省深圳市福田区梅林街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种基于MEMS技术的真空传感器，包括：MEMS前端电路、电源电路和数据处理电路；MEMS前端电路用于感测被测环境中的真空度，当被测环境的真空度发生变化时，MEMS前端电路能够产生电信号差异，并检测到单端信号；MEMS前端电路包括传感器芯片，传感器芯片包括第一热电偶和加热器；加热器包括第一加热端子和第二加热端子；第一加热端子连接第一电压输出端；第二加热端子接地；第一热电偶的正极和第一热电偶的负极连接微控制器；数据处理电路用于对单端信号进行处理，得到目标真空度值，数据处理电路包括微控制器；电源电路用于为MEMS前端电路和数据处理电路供电，能够实现更快、更可靠地检测环境的真空度，具有体积小，功耗低，成本低，可靠性高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 技术 真空 传感器 | ||
【主权项】：
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