[实用新型]一种晶圆盘夹具、晶圆盘工作台及共晶机有效
| 申请号： | 202223307868.5 | 申请日： | 2022-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN218776480U | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王宗伟;徐文波 | 申请（专利权）人： | 武汉瑞弘鑫精密制造有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 深圳国海智峰知识产权代理事务所(普通合伙) 44489 | 代理人： | 毕文悦 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市东湖新技术开发*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆技术领域，尤其涉及一种晶圆盘夹具、晶圆盘工作台及共晶机。该晶圆盘夹具用于晶圆盘的夹紧固定，其包括：卡盘，卡盘上设有开口，以使卡盘形成第一连接端与第二连接端；套环，套环套设在卡盘内，并与卡盘可拆卸连接，且套环的厚度依据晶圆盘的尺寸而定；锁紧连接件，锁紧连接件安装在卡盘的开口处，且锁紧连接件的两端分别与卡盘的第一连接端、第二连接端相连。与现有技术相比，该晶圆盘夹具可适用于不同尺寸规格的晶圆盘，提高了夹具的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆盘 夹具 工作台 共晶机 | ||
【主权项】：
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