[实用新型]一种单晶炉冷却设备水路优化结构有效
申请号: | 202223363137.2 | 申请日: | 2022-12-14 |
公开(公告)号: | CN219032452U | 公开(公告)日: | 2023-05-16 |
发明(设计)人: | 李文超;张树峰;韩存根;李天元;詹景涛;侯彪;张富强;孙洪光 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环晶体材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型提供一种单晶炉冷却设备水路优化结构,包括常温水路和低温水路,所述常温水路和低温水路均与第一设备和第二设备连接,所述常温水路和低温水路可切换使用,对所述第一设备和第二设备同时进行冷却水循环。本实用新型的有益效果是提高了单晶炉冷却设备的冷却效率,延长了冷却设备各器件的使用寿命,降低了维护成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 冷却 设备 水路 优化结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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