[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202223375192.3 | 申请日： | 2022-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN219124363U | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 周元;闾新明 | 申请（专利权）人： | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风。该MEMS麦克风中，振动膜对应于空隙的位置上设置有第一开孔，以使空隙区域能够形成敞开的循环结构，有利于释放和缓冲强气流，改善高强度压力导致振动膜容易破裂的问题。此外，在MEMS麦克风的制备过程中，使得空隙内的刻蚀剂还可以通过第一开孔释放，从而可缓解刻蚀剂大量堆积在空隙内，有效降低了振动膜被过度侵蚀的风险，进一步增强了振动膜的抗气压能力，提高麦克风的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，未经绍兴中芯集成电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202223375192.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种柴油发电机组隔音式底座
- 下一篇：机车牵引电机轴承试验机
