[实用新型]一种多层膜晶体片有效
| 申请号： | 202223433705.1 | 申请日： | 2022-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN218675352U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 刘智博;朱杰志;吕圣诗 | 申请（专利权）人： | 广州智圣高分子材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;C30B29/68;B32B9/00;B32B9/04;B32B15/00;B32B33/00;G02B1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510000 广东省广州市南沙区环*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多层膜晶体片，属于精密光学元件制作技术领域。本实用新型提供的多层膜晶体片包括基体，基体上依次叠有底层、CoCr膜层、Sb膜层和保护层；CoCr膜层和Sb膜层之间叠有第一超微间隔层，所述Sb膜层和保护层之间叠有第二超微间隔层，所述CoCr膜层、第一超微间隔层、Sb膜层和第二超微间隔层呈周期排列。CoCr，Sb材料在极紫外波段的光学常数合适，有优异的光学性能；在CoCr，Sb膜层之间插入第一超微间隔层和第二超微间隔层BN膜层阻止了CoCr膜层和Sb膜层之间的相互扩散，且具有良好的反射率，提高了多层膜晶体片的抗热损伤性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 晶体 | ||
【主权项】：
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