[实用新型]一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构有效
| 申请号： | 202223456557.5 | 申请日： | 2022-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN218842398U | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 孙勇 | 申请（专利权）人： | 江苏艺通新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160 | 代理人： | 苏宇 |
| 地址： | 226000 江苏省南通市南通高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，属于单晶硅生长炉领域，连接管和副炉室，所述连接管顶部固定连接有固定板，所述固定板底部四角转动连接有四组转轴，所述固定板底部设置有驱动组件，所述驱动组件与四组所述转轴传动相连，所述副炉室底部固定连接有连接板，所述连接板两侧开设有两组卡槽；所述转轴顶部贯穿卡槽并固定连接有卡块，通过将副炉室放置到连通板上，使四组卡块穿过连接板上的卡槽，然后启动旋转气缸，通过转轴带动四组卡块转动对连接板进行限位，完成对副炉室的锁紧，提高对副炉室锁紧的方便性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶硅 生长 炉炉室锁紧 机构 | ||
【主权项】：
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