[实用新型]输送结构及研磨设备有效
| 申请号： | 202223476378.8 | 申请日： | 2022-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN219359179U | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市艾佛光通科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/04;B24B37/34 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黄旭东 |
| 地址： | 517000 广东省河源市源城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种输送结构及研磨设备，输送结构包括输送件，输送件上形成有输送通道，输送通道贯穿输送件的两侧形成有输入口和输出口，输送件上还开设有与输送通道相连通的流出口，流出口位于输入口和输出口之间，输送件的数量为至少两个，一输送件可拆卸地连接在另一输送件上，其中至少一输送件的输入口或流出口用于输入研磨液，输出口与另一输送件的输入口相连通，另一流出口用于输出研磨液。输送件之间可拆卸使得输送结构整体的长度可调节，使得流出口能够对应晶圆的不同位置，由此将研磨液输送至晶圆上的不同位置或者使输送结构能够适用于不同尺寸的晶圆。进一步提高了输送结构的应用范围、实用性和可靠性，由此也降低了企业使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 结构 研磨 设备 | ||
【主权项】：
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