[实用新型]一种旋转机构及真空镀膜设备有效

专利信息
申请号: 202223480152.5 申请日: 2022-12-26
公开(公告)号: CN219342270U 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 李燕燕 申请(专利权)人: 上海德弘世恩科技有限公司
主分类号: C23C14/50 分类号: C23C14/50;C23C14/24
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 金彦;许亦琳
地址: 201708 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种旋转机构及真空镀膜设备,该旋转机构包括动力源、从动组件、第一传动件和第二传动件,所述动力源与所述从动组件传动连接,所述第一传动件与所述从动组件传动连接,所述第一传动件与所述第二传动件传动连接。该真空镀膜设备包括旋转机构、蒸镀材料加热部件、旋转支架和真空腔体。该旋转机构能够实现360°旋转,该真空镀膜设备适用于结构复杂的镀膜部件,各个表面能够同时完成镀膜,从真空腔体内取出的镀膜部件无需后续处理。
搜索关键词: 一种 旋转 机构 真空镀膜 设备
【主权项】:
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