[实用新型]一种单晶炉用环形降氧工装及系统有效
申请号: | 202223493656.0 | 申请日: | 2022-12-27 |
公开(公告)号: | CN218860952U | 公开(公告)日: | 2023-04-14 |
发明(设计)人: | 杨春祥;石鑫;董宇豪;何阳 | 申请(专利权)人: | 乐山市京运通新材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 成都蓉创智汇知识产权代理有限公司 51276 | 代理人: | 赵雷 |
地址: | 614000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶炉技术领域,公开了一种单晶炉用环形降氧工装及系统,其中单晶炉用环形降氧工装,包括若干个弧形阻热装置,弧形阻热装置安装在单晶炉内的环形加热器的下方,弧形阻热装置安装在环形加热器上的相邻的两个脚板之间;单晶炉用环形降氧系统,包括单晶炉和上述的单晶炉用环形降氧工装。本实用新型能够解决单晶炉内的高氧问题,提高了生成的单晶硅的品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉用 环形 工装 系统 | ||
【主权项】:
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