[发明专利]微机电系统开关及其制造方法在审
| 申请号： | 202280000242.3 | 申请日： | 2022-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN116941008A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李月;冯昱霖;肖月磊;曹雪;常文博;韩基挏;吴艺凡;周毅;王立会;魏秋旭;安齐昌;曲峰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 李迎亚;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种微机电系统开关及其制造方法，该微机电系统开关包括绝缘基底、驱动电极、第一绝缘层、第一信号传输线和第二信号传输线，其中，绝缘基底的第一表面形成有第一区域，且第一区域相对于第一表面更靠近绝缘基底背离第一表面的表面，驱动电极设置于第一区域；第一绝缘层完全覆盖驱动电极；第一信号传输线设置于第一绝缘层背离绝缘基底一侧的表面；第二信号传输线包括连为一体的信号传输段和悬臂段，信号传输段设置于绝缘基底的第一表面，悬臂段悬置于第一信号传输线背离绝缘基底一侧。本发明提供的微机电系统开关及其制造方法，不仅可以简化开关结构、降低工艺复杂程度，而且可以减少悬臂变形和断裂的几率，提高悬臂的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 开关 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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