[发明专利]基材搬运手、基材搬运装置及基材搬运方法在审

专利信息
申请号: 202280006749.X 申请日: 2022-05-10
公开(公告)号: CN116685551A 公开(公告)日: 2023-09-01
发明(设计)人: 金光日;卢芝焕;金兑炅 申请(专利权)人: 韩华株式会社
主分类号: B66F9/06 分类号: B66F9/06
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 李盛泉;孙昌浩
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种搬运手、包括该搬运手的基材搬运装置及利用该基材搬运装置的基材搬运方法。根据本发明的一实施例的搬运手作为从相对装置接收基材或将基材传送到所述相对装置的搬运手,包括:手体;手驱动电机,设置于所述手体的一侧;导向部,随所述手驱动电机而移动;推动件,设置于所述导向部的一侧以对所述基材加压;及夹持部,设置于所述手体的另一侧以保持所述基材的位置,其中,若所述手驱动电机操作,则所述导向部移动的同时所述推动件和所述夹持部联动地操作。
搜索关键词: 基材 搬运 装置 方法
【主权项】:
暂无信息
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