[发明专利]用于制造大面积显示器用精细金属掩模的多个光掩模对准装置及对准方法在审
| 申请号： | 202280009075.9 | 申请日： | 2022-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN116762492A | 公开（公告）日： | 2023-09-15 |
| 发明（设计）人： | 柳明勋;金宰范;韩德基 | 申请（专利权）人： | 丰元精密株式会社 |
| 主分类号： | H10K71/10 | 分类号： | H10K71/10;H10K59/10;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;田英爱 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于制造大面积显示器用精细金属掩模的多个光掩模对准装置及对准方法，更详细地，提供一种用于制造大面积显示器用精细金属掩模的多个光掩模对准装置，其特征在于，包括：对准基准部，形成有至少两个对准基准点，所述对准基准点位于与对准标记重叠的位置；以及摄像装置，安装在能够拍摄所述对准基准部与对准标记的重叠状态的位置，其中，所述对准基准点中的至少一个与形成在多个光掩模中的第一光掩模上的对准标记重叠，并且剩余的对准基准点与形成在第二光掩模上的对准标记重叠，所述第二光掩模与所述第一光掩模相邻地对准。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 大面积 显示 器用 精细 金属 多个光掩模 对准 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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