[发明专利]感光性元件和抗蚀图案的形成方法在审
| 申请号： | 202280012230.2 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN116830038A | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 柳翔太 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;段然 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
一种感光性元件，其依次具有支承薄膜(A)、感光性树脂组合物层(B)，ISO 25178中规定的前述支承薄膜(A)的与前述感光性树脂组合物层(B)接触一侧的界面的展开面积比Sdr |
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| 搜索关键词： | 感光性 元件 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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