[发明专利]供体板、沉积装置和沉积方法在审
| 申请号： | 202280017200.0 | 申请日： | 2022-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN116941332A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 罗伯·雅各布·亨德里克斯 | 申请（专利权）人： | 荷兰应用自然科学研究组织TNO |
| 主分类号： | H05K3/12 | 分类号： | H05K3/12 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 孟媛;陈鑫 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本文中公开了一种用于将沉积物质(2)沉积在靶材(30)上的供体板(1)。供体板包括柔性衬底(10)，该柔性衬底在第一主表面(101)处相继具有电极层(11)、第一电绝缘层(12)、电阻加热器层(13)、第二电绝缘层(14)和图案化层(15)，该图案化层设置有一个或多个凹部(155)，该一个或多个凹部用于保持待沉积在靶材上的沉积物质(2)。电极层(11)包括形状互补且彼此电绝缘的第一电极和第二电极(111、112)。电阻加热器层(13)经由第一电绝缘层中的至少一个相应的狭缝(121、122)电连接到第一电极(111)的接触表面和第二电极(112)的接触表面中的每一个接触表面。 | ||
| 搜索关键词： | 供体 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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