[发明专利]光学系统、安装设备和用于测量测量对象的位置的方法在审
| 申请号： | 202280017264.0 | 申请日： | 2022-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN116940899A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | A·特劳特曼;F·施罗德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王蕊瑞 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种用于光刻设备(100A、100B)的安装设备(200)的光学系统(208)，包括：相机(210)，用于记录测量对象(202)的至少一部分的图像(218)，背景体(224)，具有荧光涂层(226)并且被配置为从相机(210)看时布置在测量对象(202)的后面，以及照明装置(212)，用于照明荧光涂层(226)并激发其荧光，其中，该相机(210)包括滤光器(240)，用于允许由荧光涂层(226)发射的荧光(234)通过。 | ||
| 搜索关键词： | 光学系统 安装 设备 用于 测量 对象 位置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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