[发明专利]修正装置在审
| 申请号： | 202280017340.8 | 申请日： | 2022-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN116940884A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 杉本重人;水村通伸 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;刘继富 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明的修正装置能够在不提高制造成本的情况下以高精度进行定位。该修正装置具有：第一平台，其具有吸附基板的吸附平台；门架，其设置在吸附平台的上侧；第二平台，其设置在门架；头部，其设置在第二平台，具有修正基板的修正头部；第一移动部，其改变第一平台和门架在第一方向上的相对位置；第二移动部，其改变第一平台和第二平台在与第一方向大致正交的第二方向上的相对位置；以及头部移动部，其使头部相对于第二平台移动。第二平台具有大致沿第一方向设置的第一轴，以及大致沿第二方向设置的第二轴，头部移动部使头部沿第一轴在第一方向上移动，使头部沿第二轴在第二方向上移动。头部移动部的定位精度比第一移动部的定位精度和第二移动部的定位精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 修正 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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