[发明专利]显示装置的制造方法在审
| 申请号： | 202280017702.3 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN116941328A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 江口晋吾;鱼地秀贵 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 宋俊寅;张鑫 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供一种新颖的显示装置的制造方法。该显示装置的制造方法包括：依次形成阳极、第一EL层、第一阴极及第一层的工序；在第一层上形成第一抗蚀剂掩模的工序；选择性地去除阳极、第一EL层、第一阴极及第一层各自的一部分的工序；去除第一抗蚀剂掩模的一部分的工序；选择性地去除第一EL层、第一阴极及第一层各自的其他一部分的工序；以及去除第一抗蚀剂掩模的工序。第一抗蚀剂掩模使用多级灰度掩模形成。 | ||
| 搜索关键词： | 显示装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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