[发明专利]研磨用组合物及使用其的研磨方法在审
| 申请号： | 202280017862.8 | 申请日： | 2022-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN116940648A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 若林谅 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李恩华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
提供用于能够降低研磨对象物的研磨后的表面上的磨粒残渣的手段。本发明的研磨用组合物包含磨粒和分散介质，所述磨粒是平均粒径(D |
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| 搜索关键词： | 研磨 组合 使用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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