[发明专利]基板表面处理液、使用其制造清洗过的基板的方法及制造器件的方法在审
| 申请号： | 202280019620.2 | 申请日： | 2022-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN116940663A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 绢田贵史;长原达郎 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | C11D3/37 | 分类号： | C11D3/37 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | [问题]本发明提供一种用于有效地清洗基板的基板表面处理液。[解决方案]本发明的基板表面处理液是含有碱性化合物(A)和溶剂(B)的基板表面处理液，将所述基板表面处理液施涂于基板，用于形成含有至少一部分碱性化合物(A)的基板表面处理层，将基板清洗液施涂于所述基板表面处理层，用于形成基板清洗膜。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 使用 制造 清洗 方法 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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