[发明专利]等离子体中活性氮氧化物种时空分布的检测系统在审
| 申请号： | 202310001378.2 | 申请日： | 2023-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN116046700A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 刘晨;丁洪斌;冯春雷;吴鼎 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/31 | 分类号： | G01N21/31;G01N21/33;G01N21/01 |
| 代理公司： | 大连大工智讯专利代理事务所(特殊普通合伙) 21244 | 代理人： | 梁左秋 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及低温等离子体诊断技术领域，提供一种等离子体中活性氮氧化物种时空分布的检测系统，包括：宽带连续光源用于提供初始探测光束；光束整形切片系统用于将初始光束转换为片状平行探测光束；高精度时序可控电源用于提供高压激励源，使得沿面放电反应腔室产生大量活性氮氧化物种；平凸柱面透镜用于将沿面放电反应腔室的出射探测光束聚焦进单色仪；光电倍增管用于采集单色仪的光谱信号；计算机用于实时处理光谱信号，获取活性氮氧化物种的时空分布信息。本发明能够方便有效地诊断等离子体中产生的活性氮氧化物种的时空演化行为。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 活性 氧化 物种 时空 分布 检测 系统 | ||
【主权项】：
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