[发明专利]探针升降装置及探针台在审
| 申请号： | 202310001481.7 | 申请日： | 2023-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN116047127A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 沈杰;杨应俊 | 申请（专利权）人： | 矽电半导体设备（深圳）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/04 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 谢岳鹏 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种探针升降装置及探针台。本发明的探针升降装置包括固定座、电机、第一偏心轮、第二偏心轮和调节座；电机设置于固定座上，电机包括电机轴；第一偏心轮套设于电机轴上，并能够与电机轴同步转动；第二偏心轮包括主体部和连接轴，主体部套设于第一偏心轮，第二偏心轮与第一偏心轮转动连接；调节座用于连接探针，并能够调节探针的位置，调节座与固定座沿设定方向滑动连接，连接轴与调节座转动连接，以使电机轴的转动能够带动调节座沿设定方向的移动。该探针升降装置通过第一偏心轮和第二偏心轮的配合，将电机轴的转动转换为调节座沿设定方向的移动，传动的误差较小，调节座的运动精度较高。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 升降 装置 | ||
【主权项】：
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