[发明专利]一种3D光子晶体调控的激光芯片及制备方法有效
| 申请号： | 202310010440.4 | 申请日： | 2023-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN115693402B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 周少丰;丁亮;刘鹏;陈华为;黄良杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市星汉激光科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/20 | 分类号： | H01S5/20;H01S5/22;H01S5/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 武汉瑞创星知识产权代理事务所(普通合伙) 42274 | 代理人： | 曹雄 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种3D光子晶体调控的激光芯片，包括沿着芯片外延生长方向依次为衬底层、下限制层、下波导层、量子阱有源区、上波导层、上限制层、脊波导；以及3D光子晶体，所述3D光子晶体为多个纳米球形结构，分布在所述脊波导的两侧；以及围坝，所述围坝设置在所述激光芯片的边缘，所述围坝、所述上限制层的表面以及所述脊波导的侧面组成凹槽，所述3D光子晶体填充所述凹槽。该结构通过刻蚀脊形波导的过程，同时在脊两侧形成围栏；利用纳米球旋涂自组装技术在沟槽里面形成分段3D光子晶体。从而起到类似侧壁光栅的效果，有效的提高了激光芯片的光斑特性，实现半导体激光器窄线宽、波长可调谐等特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光子 晶体 调控 激光 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市星汉激光科技股份有限公司，未经深圳市星汉激光科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310010440.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
