[发明专利]波导结构及其制备方法、光学天线、光学相控阵芯片在审
| 申请号： | 202310036251.4 | 申请日： | 2023-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN116148976A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 冯楚桓;徐洋;邓永强 | 申请（专利权）人： | 北京万集科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/125;G02F1/295;G02B6/132;G02B6/136;G02B6/12 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 梁河 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及光波导技术领域，提供一种波导结构及其制备方法、光学天线及其制备方法、光学相控阵芯片。波导结构包括衬底、束缚层和波导层，束缚层包括第一包覆层和位于第一包覆层中的光束缚结构，第一包覆层的折射率低于光束缚结构的折射率，波导层包括第二包覆层和位于第二包覆层中的芯层，第二包覆层的折射率低于芯层的折射率。其中，工作波长所对应的频率高于芯层的截止频率、且低于光束缚结构的截止频率，束缚层的设置能够提升波导层对模场的束缚能力，抑制波导结构或光学天线之间的功率串扰。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 结构 及其 制备 方法 光学 天线 相控阵 芯片 | ||
【主权项】：
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