[发明专利]一种软X射线-真空紫外光学系统的设计方法及光学系统在审
| 申请号： | 202310036674.6 | 申请日： | 2023-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN116088169A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 曹一青 | 申请（专利权）人： | 莆田学院 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B17/06 |
| 代理公司： | 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 | 代理人： | 郑晋升 |
| 地址： | 351100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种软X射线‑真空紫外光学系统的设计方法及光学系统，包括以下步骤：步骤一：基于软X射线‑真空紫外光学系统像差理论，分别计算系统中两个光学元件的场曲波像差、彗差波像差、球差波像差、像散波像差和畸变波像差并建立总波像差表达式；步骤二：应用光学元件2的波像差来平衡光学元件1的波像差，建立系统的场曲、彗差、球差、像散及畸变总波像差平衡方程式；步骤三：构建光学系统总的波像差平衡方程式作为系统成像质量评价目标函数；步骤四：应用自适应变异概率改进的遗传算法对目标函数进行求解，解出目标函数在最小值情况下的光学元件1和光学元件2的曲率半径。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射线 真空 紫外 光学系统 设计 方法 | ||
【主权项】：
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