[发明专利]一种等离子体产生方法和处理方法在审
| 申请号： | 202310037306.3 | 申请日： | 2023-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN116685039A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张鹤;王亨;张良俊;韩方虎;杨柳 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;C23C16/515;C23C16/455;C23C16/52;H01J37/32;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 214111 江苏省无锡市新吴区漓江路*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种等离子体产生方法和处理方法，等离子体产生方法包括：采用等离子体电源给处理腔内部的等离子体产生部件输出脉冲信号，以在所述处理腔内产生等离子体；其中，脉冲信号对应的脉冲宽度为0.5ms－1ms，脉冲间隔为4ms－7ms。处理方法包括：采用等离子体产生方法得到的等离子体在所述处理腔内进行等离子体处理。采用这种等离子体产生方法能有效的提高处理速率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 产生 方法 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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