[发明专利]一种爆炸箔及其批量化制备方法在审
| 申请号： | 202310046859.5 | 申请日： | 2023-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN116254506A | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 武绍宽;戚云娟;段亮;潘婷;吕小俊 | 申请（专利权）人： | 陕西电器研究所 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/35;C23C14/04;C23C14/58;C23C14/02;F42B3/10;F42B3/195;B05D7/24 |
| 代理公司： | 北京艾纬铂知识产权代理有限公司 16101 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 710025 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种爆炸箔及其批量化制备方法，属于点火起爆装置和微电子机械技术领域。所述爆炸箔为由下向上依次由Ti膜、Al膜、Ni膜、Cu膜和Au膜组成的复合膜；所述Ti膜的厚度为5～200nm，Al膜的厚度为100～300nm、Ni膜的厚度为100～300nm、Cu膜的厚度为1000～5000nm，Au膜的厚度为5～100nm；所述爆炸箔以蓝宝石晶圆为衬底，采用匀胶光刻和磁控溅射镀膜工艺在晶圆上由下向上依次沉积Ti、Al、Ni、Cu、Au膜，最后通过激光切割划片并在衬底上加工通孔，得到沉积有所述爆炸箔的单个晶圆；全过程采用半导体制备工艺，可批量化生产，提高生产效率，降低成本并提高爆炸箔的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 爆炸 及其 批量 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西电器研究所，未经陕西电器研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310046859.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种裂口圈结构及液压胀装置
- 下一篇：一种用于化工厂的防火抗爆隔离结构
- 同类专利
- 专利分类
