[发明专利]双PN结结构的垂直入射光电探测器及半导体设备在审

专利信息
申请号: 202310065550.0 申请日: 2023-01-16
公开(公告)号: CN116845126A 公开(公告)日: 2023-10-03
发明(设计)人: 崔积适 申请(专利权)人: 三明学院
主分类号: H01L31/11 分类号: H01L31/11;H01L31/0224;H01L31/0352;H01L31/18
代理公司: 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) 35222 代理人: 林贤德
地址: 365000 福*** 国省代码: 福建;35
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供了一种双PN结结构的垂直入射光电探测器及半导体设备,光电探测器包括:衬底层;吸收层,其形成在所述衬底层上;两个n型掺杂区,通过对所述衬底层进行n掺杂形成,并位于所述吸收层相对的两侧;两个p型掺杂区,通过对所述衬底层进行p掺杂形成,并位于所述吸收层相对的另两侧;其中,相邻的n型掺杂区和p型掺杂区均形成pn结四个电极,分别设置在4个掺杂区上。本发明由于采用四个电极结构,增强了在吸收层上的电场的分布,同等电场下减小了供电电压,同时相邻的n型掺杂区和p型掺杂区均形成pn结,增加了结面积,即增加了吸收层的有效吸收区域的面积。
搜索关键词: pn 结构 垂直 入射 光电 探测器 半导体设备
【主权项】:
暂无信息
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