[发明专利]一种超高速数字微镜空间光调制器检测装置及方法在审
申请号: | 202310072452.X | 申请日: | 2023-02-07 |
公开(公告)号: | CN116007905A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 程攀攀;时新生;张琼;李国峰;朱旭杰;胡伟东;程红山 | 申请(专利权)人: | 金华飞光科技有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01J1/44 |
代理公司: | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人: | 王月松 |
地址: | 321000 浙江省金华市婺城区龙潭路5*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开一种超高速数字微镜空间光调制器检测装置及方法,涉及空间光调制器测试领域,包括:激光器、计算机、超高速数字微镜空间光调制器、傅里叶透镜和光电探测器;通过计算机直接计算两幅相同图像的频谱图像,将得到的频谱图像和全黑图像加载至超高速数字微镜空间光调制器,通过准直激光束的照射,使超高速数字微镜空间光调制器以设定频率输出频谱图像和全黑图像,经过傅里叶透镜的处理,利用光电探测器检测两幅图像相关峰位置中亮点的有无,若有亮点的频率等于设定频率的一半,则说明超高速数字微镜空间光调制器合格。本发明的方案成本低,适用范围广,能够对超高速数字微镜空间光调制器进行检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 超高速 数字 空间 调制器 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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