[发明专利]差分MEMS谐振加速度计非线性失配的校准装置和校准方法在审
| 申请号： | 202310073262.X | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN116165398A | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 张文慧;蔡思琦;赵健 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00;G01P15/08;G01P15/097 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种差分MEMS谐振加速度计非线性失配的校准装置和校准方法，所述的装置包括差分MEMS谐振加速度计、校准控制电路和测试信号发生器，所述的差分MEMS谐振加速度计具有相同的结构第一通道、第二通道。本发明抑制了由于制造缺陷导致的差分MEMS谐振加速度计两路通道非线性刚度不匹配引入的闪变噪声，从而进一步提高了差分MEMS谐振加速度计的性能。本发明在抑制非线性刚度不匹配引入的闪变噪声时，不需要改变本发明差分MEMS谐振加速度计的机械架构，并且可以保持本发明差分MEMS谐振加速度计的高带宽和高信噪比的特性。 | ||
| 搜索关键词： | mems 谐振 加速度计 非线性 失配 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
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