[发明专利]聚焦离子束和纳米离子探针原位表征通用样品台及方法在审
| 申请号： | 202310080103.2 | 申请日： | 2023-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN116092906A | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 谷立新;李金华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;B25B11/00;B25H1/10;H01J37/28;H01J37/31;G01N1/28;G01N23/2251;G01N27/62 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 巴晓艳 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种聚焦离子束和纳米离子探针原位表征通用样品台及方法，该通用样品台包括：用于通过样品载网固定待测样品的样品托；用于对所述样品托进行0‑90°范围内角度控制的角度调节组件；用于固定或拆卸样品托的锁定轴，用于承载所述样品托，便于样品托能够安装在聚焦离子束和扫描电镜常规样品座上的支撑架；样品托的前端设有固定夹具，样品托的两端分别与角度调节组件和锁定轴的一端连接，角度调节组件和锁定轴的另一端分别与支撑架的上端活动连接。采用通用样品台进行测试样品时的测试步骤简单，通过多功能样品台安装到不同的显微表征设备中，避免了薄片样品多次夹取造成的损伤和污染。样品台装置结构简单，便于加工，成本极低。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 离子束 纳米 离子 探针 原位 表征 通用 样品 方法 | ||
【主权项】：
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