[发明专利]一种基于离子可调水凝胶栅介电层的环境响应型晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 202310082563.9 | 申请日： | 2023-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN116314301A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘亚庆;刘玥;景厚超 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01L29/51 | 分类号： | H01L29/51;H01L29/423;H01L29/786;H01L21/44;H01L21/334;H10K10/46;H10K71/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 王素平 |
| 地址： | 250100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于离子可调水凝胶栅介电层的环境响应型晶体管及其制备方法。该环境响应型晶体管，从下到上依次包括衬底、沟道层、漏源电极、离子可调水凝胶栅介电层和栅极。所述离子可调水凝胶栅介电层通过将丙烯酰胺类单体、熔融的相变无机盐水合物、光引发剂以及交联剂在高温环境中进行充分共混，再经过紫外光聚合制备。调控温度使得水凝胶介电层发生相变，可以在高、低电容之间的相互转变，控制栅压对沟道电流的调制能力，从而实现晶体管工作模式的切换。本发明设计了基于离子可调水凝胶栅介电层的晶体管器件，为构建环境响应型晶体管开发了新的策略，实现了晶体管功能的热电双调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 离子 调水 凝胶 栅介电层 环境 响应 晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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