[发明专利]一种用于EH36船板钢精密抛光的抛光液的制备方法在审
| 申请号： | 202310083521.7 | 申请日： | 2023-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN116397230A | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 弓爱君;陈倚;屈蔚然;张偲淼;郑书佳;孙一嘉 | 申请（专利权）人： | 北京科技大学 |
| 主分类号： | C23F3/04 | 分类号： | C23F3/04;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京市广友专利事务所有限责任公司 11237 | 代理人： | 张仲波 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于EH36船板钢精密抛光的抛光液及其制备方法，属于高分子材料技术领域。其主要配置方法为：将各组分分别以磨料3％，氧化剂0.1％，pH调节剂0.25％～1％，分散剂0.04％，缓蚀剂0.03％的重量比，依次加入干净的工业搅拌器中，并不断的搅拌使得各个原料都充分搅拌均匀，直至形成稳定的悬浊液。通过对抛光液组分的优选和工艺的优化设计，制备了一种用于EH36船板钢精密抛光的CMP抛光液。本发明具有制备简单、原料易得且成本低等特点，并具有较好的抛光性能，且抛光后表面粗糙度大幅减小，有良好的发展前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 eh36 钢精 抛光 制备 方法 | ||
【主权项】：
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