[发明专利]一种多段式同轴结构的大气压低温微波等离子体装置在审
| 申请号： | 202310083735.4 | 申请日： | 2023-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN116056301A | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 于丙文;李雅瑞;王荣耀;金伟 | 申请（专利权）人： | 浙江大学湖州研究院 |
| 主分类号： | H05H1/18 | 分类号： | H05H1/18;H05H1/30 |
| 代理公司： | 上海新隆知识产权代理事务所(普通合伙) 31366 | 代理人： | 金利琴 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市西塞山路8*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种多段式同轴结构的大气压低温微波等离子体装置，包括腔体部分、微波耦合部分、调谐部分；腔体部分为外管、中管、内电极构成的多段同轴谐振腔结构，其中微波均以TEM模式进行传输；微波耦合部分可以电导耦合、电容耦合、磁场耦合等方式将微波能量耦合到腔体部分。本发明基于微波冷等离子体射流电子密度大、电离度高、可控性强、清洁无污染、臭氧生成量少等优势，提出多段式同轴结构的大气压低温微波等离子体装置，即改变了微波冷等离子体射流周围的电磁场，实现了自点火，并且在较长射流的长度下稳定了其强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 段式 同轴 结构 大气压 低温 微波 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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