[发明专利]用于减少YX切割压电耦合的横向激发的薄膜体声谐振器在审
| 申请号： | 202310091594.0 | 申请日： | 2023-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN116683884A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 格雷格·戴尔;菲利普·伊利耶夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李国华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种滤波器可以包括衬底和耦接到衬底的旋转YX切割的压电板。该滤波器还可以包括叉指换能器(IDT)，该IDT形成在旋转YX切割的压电板的形成膜片的部分上，该膜片跨越旋转YX切割的压电板和衬底之间的腔。IDT包括设置在膜片上的交错的指状物。IDT具有小于或等于交错的指状物的间距的4倍的孔径。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 减少 yx 切割 压电 耦合 横向 激发 薄膜 谐振器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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