[发明专利]半导体结构及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202310097643.1 申请日: 2023-02-08
公开(公告)号: CN116169139A 公开(公告)日: 2023-05-26
发明(设计)人: 吴健 申请(专利权)人: 上海鼎泰匠芯科技有限公司
主分类号: H01L27/07 分类号: H01L27/07;H01L21/8248
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 高雪
地址: 200135 上海市浦东新区自由*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 本申请涉及一种半导体结构及其制备方法。半导体结构包括:基底;第一阱区,位于基底内;第一体区,位于第一阱区内;第二体区,位于基底内,与第一体区间隔设置,且至少部分位于第一阱区内;第二阱区,位于第一阱区内,且位于第一体区与第二体区之间,与第一体区间隔设置;多个欧姆接触区,位于基底内,在第一方向上,至少部分欧姆接触区位于第一体区、第二体区、第一阱区和第二阱区内;其中,第二阱区与位于第二阱区内的欧姆接触区作为结型场效应晶体管的漏极区和NPN的集电极区。实现了NPN区域与结型场效应晶体管区域相互重叠,NPN和结型场效应晶体管共用部分结构以缩小整体半导体结构的面积。
搜索关键词: 半导体 结构 及其 制备 方法
【主权项】:
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