[发明专利]一种新型UV固化纳米压印装置及方法在审
| 申请号： | 202310101942.8 | 申请日： | 2023-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN116339070A | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 邓萌萌;杨爱斌 | 申请（专利权）人： | 璞璘科技（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 杭州大道知识产权代理有限公司 33525 | 代理人： | 奚丽萍 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富阳区银*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型UV固化压印装置，包括安装面板、加压密封腔、单向气缸和UV固化灯，所述安装面板的前侧设有加压密封腔，所述加压密封腔与安装面板之间转动连接，所述加压密封腔的底部设有模板，所述加压密封腔的一侧设有单向气缸，所述单向气缸的气缸杆位于所述单向气缸的下部；所述加压密封腔上设有加压气管，所述加压密封腔的上方设有UV固化灯；本发明可以实现模板和衬底的动态贴合，有利于衬底和模板间气体的充分排出。在贴合过程中再辅助一定压力的气体，保证结构的充分填充。通过该新型UV压印装置既避免UV压印中气体排出不完整造成的缺陷，又可以保证图案结构的完整填充。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 uv 固化 纳米 压印 装置 方法 | ||
【主权项】：
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