[发明专利]形成光学模块的方法在审
| 申请号： | 202310102377.7 | 申请日： | 2023-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN116540499A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 彭荣辉;郑钧文;吴宜谦 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;G02B6/42 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 朱亦林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及形成光学模块的方法。提供了光学模块及其形成方法。在一个实施例中，示例性方法包括：在第一晶圆之上形成多个第一光学元件，在第二晶圆之上形成多个第二光学元件，在第三晶圆之上形成多个第三光学元件，将第一晶圆与第二晶圆对准，使得在第一晶圆与第二晶圆的对准后，每个第一光学元件与对应的第二光学元件竖直交叠。该方法还包括将第一晶圆与第二晶圆键合以形成第一键合结构，将第二晶圆与第三晶圆对准，使得在将第一键合结构的第二晶圆键合至第三晶圆时，在第二晶圆与第三晶圆的对准后，每个第二光学元件与对应的第三光学元件竖直交叠。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 光学 模块 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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