[发明专利]LIBS检测系统和光谱质量在线校准方法在审

专利信息
申请号: 202310108456.9 申请日: 2023-02-14
公开(公告)号: CN115876750A 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 贾军伟;潘从元;蒋博;张兵;王腾飞 申请(专利权)人: 合肥金星智控科技股份有限公司
主分类号: G01N21/71 分类号: G01N21/71
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 欧阳高凤
地址: 230088 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种LIBS检测系统和光谱质量在线校准方法,系统包括:激光烧蚀组件、光传输组件、校准组件、光谱仪和上位机;激光烧蚀组件,用于发射激光,对样品进行烧蚀;光传输组件,用于将样品产生的光信号传输至光谱仪;校准组件,用于测定激光的实际激光能量和提供预设光,光传输组件还用于将预设光对应的光信号传输至光谱仪;光谱仪,用于采集光传输组件所传输光信号的实际光谱数据;上位机,分别与激光烧蚀组件、光谱仪和校准组件连接,用于对激光烧蚀组件进行校准,并对样品对应的实际光谱数据进行校准。该系统可实现光谱质量自动校准,降低定量分析模型更换频率,提升LIBS技术工业现场应用适用性,助力工艺流程智能化控制。
搜索关键词: libs 检测 系统 光谱 质量 在线 校准 方法
【主权项】:
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