[发明专利]雪崩光电探测器过剩噪声因子测量系统及测量方法在审
| 申请号： | 202310114825.5 | 申请日： | 2023-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN116068295A | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 杨晓红;刘一君;王睿;唐永升 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01R29/26 | 分类号： | G01R29/26;G01R31/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李世阳 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种雪崩光电探测器过剩噪声因子测量系统及测量方法。该雪崩光电探测器过剩噪声因子测量系统包括：载物装置、光源、频谱仪、偏置器、源压表以及高频探针；载物装置用于放置待测器件，待测器件包括雪崩光电探测器芯片；光源用于向雪崩光电探测器芯片输出稳恒光以进行噪声测试；以及雪崩光电探测器芯片与偏置器相连，偏置器基于直流通路连接源压表，偏置器通过高频探针基于交流通路连接频谱仪，以形成噪声测试链路。 | ||
| 搜索关键词： | 雪崩 光电 探测器 过剩 噪声 因子 测量 系统 测量方法 | ||
【主权项】：
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