[发明专利]拼接主镜的精调驱动机构、直线驱动装置及其驱动方法有效
| 申请号： | 202310117036.7 | 申请日： | 2023-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN115877544B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 胡斌;李创;尹泽渊;李亮亮 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182;G02B7/183;G02B23/16;G02B7/00;G02B7/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王少文 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及拼接主镜的驱动装置及方法，具体涉及一种拼接主镜的精调驱动机构、直线驱动装置及其驱动方法，用于解决作为拼接主镜调整重要使能技术的大行程高精度直线驱动装置，在驱动精度、位移曲线线性度、调整功能可靠性和结构紧凑性等方面，都有待进一步提高的不足之处，该拼接主镜的精调驱动机构由对称式构型的位移缩放柔顺机构和线性驱动器组成，其中，位移缩放柔顺机构位移缩放比高达100以上，配合高输出精度的线性驱动器，能够使得直线驱动装置的最小输出位移达到5nm量级，同时具有优于10μm的精调行程。同时，本发明公开一种拼接主镜的直线驱动装置及其驱动方法。 | ||
| 搜索关键词： | 拼接 驱动 机构 直线 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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