[发明专利]基于双层阵列结构的水波实时传感装置及检测方法在审
申请号: | 202310118770.5 | 申请日: | 2023-01-31 |
公开(公告)号: | CN116046149A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 刘寒韵;徐云;肖宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01H11/06 | 分类号: | G01H11/06;H02N1/04;G01F23/296 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张博 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 提供一种基于双层阵列结构的水波实时传感装置及检测方法,传感装置包括一柔性传感器件,其设置于待测液体的液面处,使得传感器件的一部分位于液面以下,传感器件包括:静电摩擦层,柔性防水薄膜材料制备而成,静电摩擦层位于液面以下的部分与待测液体接触并摩擦从而产生电信号;第一阵列单元,包括多个成阵列排布的第一传感器,位于液面以下的部分的每个第一传感器在电信号的作用下发出第一信号;绝缘层;第二阵列单元,包括多个成阵列排布的感应传感器,每个感应传感器与每个第一传感器相隔绝缘层交叠设置,并用于在对应的第一传感器发出的第一信号的作用下生成感应信号;封装层,用于将传感装置固定设置于待测液体的液面处。 | ||
搜索关键词: | 基于 双层 阵列 结构 水波 实时 传感 装置 检测 方法 | ||
【主权项】:
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